SiC/SiO2 interface properties formed by low-temperature ozone re-oxidation annealing

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标题	SiC/SiO2 interface properties formed by low-temperature ozone re-oxidation annealing 相关领域材料科学 X射线光电子能谱退火（玻璃）电容器二次离子质谱分析化学（期刊）臭氧二次离子质谱法氧气等离子体离子化学工程光电子学复合材料硅电气工程化学物理有机化学色谱法量子力学电压工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.12.304
DOI	10.1016/j.ceramint.2021.12.304 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Zhipeng Yin; Sheng-sheng Wei; Jiao Bai; Weiwei Xie; Fuwen Qin; et al 出版日期：2021-12-01
求助人	JhonDoe 在 2023-04-24 18:11:07 发布自福建，悬赏 10 积分
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