On the PZT/Si unimorph cantilever design for the signal-to-noise ratio enhancement of piezoelectric MEMS microphone

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标题	On the PZT/Si unimorph cantilever design for the signal-to-noise ratio enhancement of piezoelectric MEMS microphone 相关领域单层压电片压电悬臂梁微电子机械系统声学材料科学话筒信号（编程语言）噪音（视频） PMUT公司
网址	https://www.researchgate.net/publication/353990571_On_the_PZ...
DOI	10.1088/1361-6439/ac1eef doi
求助人	北极星在 2022-08-29 10:16:26 发布自湖北，悬赏 10 积分
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