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标题
Lithium source for focused ion beam implantation and analysis
相关领域
材料科学 离子注入 离子束 聚焦离子束 离子 锂（药物） 离子束沉积 梁（结构） 硅 分析化学（期刊） 光电子学 离子源
网址
https://doi.org/10.1116/6.0000645
DOI
10.1116/6.0000645 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：Michael Titze; Daniel L. Perry; Elizabeth A. Auden; Jose L. Pacheco; John B. S. Abraham; Edward S. Bielejec
出版日期：2021
求助人
920073513-qq 在 2021-08-30 11:40:17 发布，悬赏 10 积分
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