New Method to Measure the Electron Temperature and the Plasma Density in a Single-Frequency Capacitive Discharge

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标题	New Method to Measure the Electron Temperature and the Plasma Density in a Single-Frequency Capacitive Discharge 相关领域材料科学等离子体原子物理学电容感应温度电子电子电子密度等离子体参数电容光电子学介质阻挡放电物理电极
网址	http://dx.doi.org/10.3938/jkps.51.1307
DOI	10.3938/jkps.51.1307 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Min-Hyong Lee; Ik-Jin Choe; Chin-Wook Chung 出版日期：2009-06-26
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