Theoretical Understanding of the Reaction Mechanism of SiO2 Atomic Layer Deposition

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标题	Theoretical Understanding of the Reaction Mechanism of SiO2 Atomic Layer Deposition 相关领域原子层沉积材料科学微电子路易斯酸薄膜纳米技术化学催化作用有机化学
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.5b04422
DOI	10.1021/acs.chemmater.5b04422 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Guoyong Fang; Lina Xu; Jing Ma; Aidong Li 出版日期：2016-02-23
求助人	阿程在 2023-04-13 19:23:02 发布自浙江，悬赏 10 积分
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