Low temperature plasma-enhanced ALD enables cost-effective spacer defined double patterning (SDDP)

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标题	Low temperature plasma-enhanced ALD enables cost-effective spacer defined double patterning (SDDP) 相关领域原子层沉积薄脆饼材料科学临界尺寸沉积（地质）光刻胶多重图案等离子体光电子学等离子体增强化学气相沉积纳米技术
网址	https://doi.org/10.1117/12.836979
DOI	10.1117/12.836979 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering 作者：Julien Beynet; Patrick Wong; Andy Miller; S. Locorotondo; Diziana Vangoidsenhoven; et al 出版日期：2009-12-03
求助人	研友_LNVpvL 在 2022-08-31 17:14:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
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