Production of EUV mask blanks with low killer defects - 科研通

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标题	Production of EUV mask blanks with low killer defects 具有低杀伤缺陷的EUV掩模坯料的生产相关领域极紫外光刻极端紫外线材料科学空白平版印刷术可用的溅射商业化光电子学多重图案计算机科学光学纳米技术抵抗薄膜物理复合材料激光器万维网法学政治学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2048541
DOI	10.1117/12.2048541 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Alin Antohe; Patrick A. Kearney; M. Anto Godwin; Long He; Arun John Kadaksham; et al 出版日期：2014-04-17
求助人	陆陆在 2024-07-08 10:22:06 发布自吉林，悬赏 20 积分
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