Investigation of contamination particles generation and surface chemical reactions on Al2O3, Y2O3, and YF3 coatings in F-based plasma

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标题	Investigation of contamination particles generation and surface chemical reactions on Al2O3, Y2O3, and YF3 coatings in F-based plasma 氟基等离子体中Al_2O_3、Y_2O_3、YF_3涂层污染粒子产生及表面化学反应研究相关领域涂层 X射线光电子能谱等离子清洗阳极氧化氧化物污染等离子体材料科学大气压等离子体表面粗糙度化学工程分析化学（期刊）复合材料化学环境化学冶金工程类铝物理生物量子力学生态学
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157367
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.157367 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jongho So; Minjoong Kim; Hyuksung Kwon; Seonjeong Maeng; Eunmi Choi; et al 出版日期：2023-08-01
求助人	Bennyz 在 2024-09-11 13:42:07 发布自中国，悬赏 10 积分
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