标题 |
![]() 氟基等离子体中Al_2O_3、Y_2O_3、YF_3涂层污染粒子产生及表面化学反应研究
相关领域
涂层
X射线光电子能谱
等离子清洗
阳极氧化
氧化物
污染
等离子体
材料科学
大气压等离子体
表面粗糙度
化学工程
分析化学(期刊)
复合材料
化学
环境化学
冶金
工程类
铝
物理
生物
量子力学
生态学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Applied Surface Science 作者:Jongho So; Minjoong Kim; Hyuksung Kwon; Seonjeong Maeng; Eunmi Choi; et al 出版日期:2023-08-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|