High-sensitive MEMS Fabry-Perot pressure sensor employing an internal-external cavity Vernier effect

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标题	High-sensitive MEMS Fabry-Perot pressure sensor employing an internal-external cavity Vernier effect 采用内外腔游标效应的高灵敏度MEMS法布里——珀罗压力传感器相关领域材料科学微电子机械系统硅光学法布里-珀罗干涉仪压力传感器光电子学振膜（声学）光学腔压力测量激光器振动声学物理气象学热力学波长
网址	https://doi.org/10.1364/oe.469369
DOI	10.1364/oe.469369 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Xiaoshuang Dai; Shuang Wang; Junfeng Jiang; Hongpeng Yang; Ke Tan; et al 出版日期：2022-08-17
求助人	达达在 2024-03-13 16:53:12 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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