Research of Insulation of Silicon Oxide Film Produced by Medium Frequency Magnetron Sputtering - 科研通

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标题	Research of Insulation of Silicon Oxide Film Produced by Medium Frequency Magnetron Sputtering 中频磁控溅射氧化硅薄膜绝缘性能研究
网址	http://dx.doi.org/10.13385/j.cnki.vacuum.2023.02.06
DOI	10.13385/j.cnki.vacuum.2023.02.06 doi
求助人	cyy 在 2024-07-19 10:01:06 发布自广东，悬赏 10 积分
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