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Assessing the Environmental Impact of Atomic Layer Deposition (ALD) Processes and Pathways to Lower It
评估原子层沉积(ALD)工艺的环境影响和降低它的途径
相关领域
原子层沉积
持续性
碳足迹
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期刊:ACS Materials Science Au 作者:Matthieu Weber; Nils Boysen; Octavio Graniel; Abderrahime Sekkat; Christian Dussarrat; et al 出版日期:2023-04-27 |
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