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Polarity tuning of crystalline AlN films utilizing trace oxygen involved sputtering and post-high-temperature annealing
利用微量氧溅射和高温后退火对结晶AlN薄膜的极性调节
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期刊:Applied Physics Express 作者:Liu Zhibin; Yanan Guo; Jianchang Yan; Yiping Zeng; Junxi Wang; et al 出版日期:2021-08-01 |
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