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 Feasible Study of Fabricating 20 Nm Resolution Dielectric Fresnel Zone Plates with Ultrahigh Aspect Ratio for Euv Optics 极紫外光学用20nm分辨率超高宽高比介质菲涅耳波带片的可行性研究
相关领域
极紫外光刻
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光学
菲涅耳区
电介质
菲涅耳区天线
材料科学
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菲涅耳数
分辨率（逻辑）
光电子学
物理
天线（收音机）
折射率
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人工智能
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期刊： 作者：Qingxin Wu; Qiucheng Chen; Quan Hao; Xujie Tong; Jun Zhao; et al 出版日期：2024-01-01 |
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