Simultaneous Real Time Spectroscopic Ellipsometry and Reflectance for Monitoring Semiconductor and Thin Film Preparation

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标题	Simultaneous Real Time Spectroscopic Ellipsometry and Reflectance for Monitoring Semiconductor and Thin Film Preparation 半导体和薄膜制备过程中实时光谱椭偏和反射率的同时监测相关领域椭圆偏振法材料科学偏振器光学谱线等离子体增强化学气相沉积薄膜半导体化学气相沉积散射分析化学（期刊）光电子学物理纳米技术化学双折射色谱法天文
网址	https://doi.org/10.1557/proc-324-33
DOI	10.1557/proc-324-33 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Ilsin An; Hien Van Nguyen; A. R. Heyd; R. W. Collins 出版日期：1993-01-01
求助人	Skyblue666 在 2024-02-28 22:24:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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