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 Comparative Study on Performance of IGZO Transistors With Sputtered and Atomic Layer Deposited Channel Layer 溅射沟道与原子层沉积沟道IGZO晶体管性能的比较研究
相关领域
无定形固体
材料科学
分析化学（期刊）
立体化学
物理
结晶学
化学
有机化学
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Min Hoe Cho; Hyunju Seol; Aeran Song; Seonjun Choi; Yun-Heub Song; et al 出版日期：2019-04-01 |
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