| 标题 |
 Al3Sc thin films for advanced interconnect applications 用于高级互连应用的Al3Sc薄膜
相关领域
互连
材料科学
薄膜
纳米技术
光电子学
计算机科学
工程物理
物理
电信
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microelectronic Engineering 作者：Jean-Philippe Soulié; Kiroubanand Sankaran; Valeria Founta; Karl Opsomer; Christophe Detavernier; et al 出版日期：2024-01-23 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
shinysparrow
加菲丰丰
可口可乐了
乐乐乐乐乐乐
sirius
AireenBeryl531
mmyhn
星辰大海
丘比特
123木头人
浅尝离白
共享精神
樱桃猴子
Singularity
粗心的谷槐
Ernie
传奇3
轩辕寄风
tuanheqi
Owen
皖公网安备34019202002308
