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Residual Stress and Optical Properties of TiO^2 Thin Film During Annealing by Differential Deposition Methods
微分沉积TiO^2薄膜退火过程中的残余应力和光学性能
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期刊:Optical Interference Coatings 作者:Hsi-Chao Chen; Kuan-Shiang Lee; Cheng-Chung Lee 出版日期:2007-01-01 |
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