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Substrate temperature dependence of electrical and structural properties of Ru films
钌薄膜电学和结构性能的衬底温度依赖性
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网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.07.046
DOI
10.1016/j.tsf.2011.07.046 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：T. Nagano; Kazuya Inokuchi; Kunihiro Tamahashi; Nobuhiro Ishikawa; Yasushi Sasajima; et al
出版日期：2011-08-02
求助人
风趣凡阳 在 2024-10-05 11:15:35 发布自云南，悬赏 10 积分
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