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 Evaluation of Residual Stress in MEMS Micromirror Die Surface Mounting Process and Shock Destructive Reliability Test MEMS微镜管芯表面贴装过程残余应力评估及冲击破坏性可靠性试验
相关领域
残余应力
材料科学
微电子机械系统
休克（循环）
压力（语言学）
可靠性（半导体）
复合材料
光电子学
语言学
量子力学
医学
物理
内科学
哲学
功率（物理）
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| 其它 |
期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Xiao-Yong Fang; Chuncheng Liu; Xiu‐Yuan Li; Jiahao Wu; Kai‐Ming Hu; et al 出版日期：2023-06-12 |
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