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Nitrogen and hydrogen in thick diamond films grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition at variable H2 flow rates
不同H2流量下微波等离子体增强化学气相沉积金刚石厚膜中的氮和氢
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:S. V. Nistor; M. Stefan; V. G. Ralchenko; А. В. Хомич; D. Schoemaker 出版日期:2000-06-15 |
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