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[高分]
 High precision grating of waveguide combiner with scanning overlapped phase interference lithography 扫描重叠相位干涉光刻波导组合器高精度光栅
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期刊： 作者：Shinji Orihara; Takuro Taniguchi; Kentaro Nomoto; Yohei Nawaki; Kazuyuki Tsuruoka 出版日期：2023-01-26 |
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