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 Customized modulation on plasma uniformity by non-uniform magnetic field in capacitively coupled plasma 电容耦合等离子体中非均匀磁场对等离子体均匀性的定制调制
相关领域
容性耦合等离子体
等离子体
调制（音乐）
材料科学
磁场
光电子学
物理
原子物理学
电气工程
感应耦合等离子体
声学
工程类
量子力学
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| 其它 |
期刊：Plasma Science & Technology 作者：Sen 森 WANG 王; Quanzhi 权治 ZHANG 张; Fangfang 方方 MA 马; Maksudbek Yusupov; Younian 友年 WANG 王 出版日期：2024-06-01 |
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