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标题
AlN Thin Film Processing and Basic Properties
AlN薄膜的加工及基本性能
相关领域
材料科学 纤锌矿晶体结构 压电 微电子机械系统 薄膜 谐振器 光电子学 PMUT公司 工程物理 复合材料 纳米技术 冶金 工程类
网址
DOI
10.1007/978-3-319-28688-4_1 doi
求助人
风中的夕阳 在 2025-02-08 04:19:34 发布自美国,悬赏 10 积分
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