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 Excellent boron emitter passivation for high‐efficiency Si wafer solar cells using AlOx/SiNx dielectric stacks deposited in an industrial inline plasma reactor 使用在工业在线等离子体反应器中沉积的AlOx/SiNx电介质堆叠的高效硅晶片太阳能电池的优异硼发射极钝化
相关领域
钝化
饱和电流
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薄脆饼
分析化学（期刊）
硼
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光电子学
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期刊：Progress in Photovoltaics Research and Applications 作者：Shubham Duttagupta; Fen Lin; Kishan Devappa Shetty; Armin G. Aberle; Bram Hoex 出版日期：2012-02-14 |
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