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标题
Control of the discharge chemistry of CHF3 in dual-frequency capacitively coupled plasmas
CHF3在双频电容耦合等离子体中放电化学的控制
相关领域
激进的 化学 容性耦合等离子体 分析化学(期刊) 等离子体 质谱法 原子物理学 光谱学 等离子体化学 感应耦合等离子体 物理 环境化学 核物理学 有机化学 色谱法 量子力学
网址
DOI
10.1063/1.2973402 doi
求助人
biliobili 在 2025-01-04 21:51:56 发布自上海,悬赏 10 积分
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  • 2天前

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