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标题
Research on Confocal and Co-Phasing Adjustments of Optical Mirrors by a Six-DOF Cross-Scale Piezoelectric Platform
基于六自由度跨尺度压电平台的光学镜共焦和同相调节研究
相关领域
移相器 压电 比例(比率) 共焦 光学 材料科学 计算机科学 声学 物理 量子力学
网址
DOI
10.1109/tie.2024.3360629 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Industrial Electronics
作者:Qingbing Chang; Yingxiang Liu; Weishan Chen; Jie Deng; Shijing Zhang
出版日期:2024-02-27
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