Growth of homoepitaxial single crystal diamond by microwave plasma CVD in H2-CH4-O2 gas mixtures at high microwave power densities

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标题	Growth of homoepitaxial single crystal diamond by microwave plasma CVD in H2-CH4-O2 gas mixtures at high microwave power densities 高功率密度H2-CH4-O2混合气中微波等离子体CVD生长同质外延金刚石单晶相关领域微波食品加热等离子体化学气相沉积离子源钻石单晶微波功率材料科学氢化学原子物理学光电子学物理结晶学有机化学量子力学复合材料
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2024.111721
DOI	10.1016/j.diamond.2024.111721 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：A. P. Bolshakov; V. Yu. Yurov; И. А. Федорова; Artem Martyanov; Pavel V. Fedotov; et al 出版日期：2024-10-01
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