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 X-ray photoelectron study of the effect of the composition of the initial gas phase on changes in the electronic structure of hexagonal boron nitride films obtained by PECVD from borazine 初始气相组成对硼嗪PECVD六方氮化硼薄膜电子结构变化影响的X射线光电子研究
相关领域
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硼嗪
氮化硼
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期刊：Journal of Structural Chemistry 作者：E. A. Il'inchik; I. S. Merenkov 出版日期：2016-09-29 |
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