Sensitivity analysis for dual-membrane capacitive MEMS microphone

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标题	Sensitivity analysis for dual-membrane capacitive MEMS microphone 双膜电容式MEMS传声器的灵敏度分析相关领域电容感应灵敏度（控制系统）对偶（语法数字）微电子机械系统话筒材料科学声学电子工程光电子学电气工程工程类物理声压艺术文学类
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2024.3417384
DOI	10.1109/jsen.2024.3417384 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：C. T. Sun; Jinqiu Sang; Zheng Duanmu; Bilong Liu; Xiaodong Li 出版日期：2024-06-27
求助人	Breadbread 在 2024-11-01 10:20:58 发布自广东，悬赏 10 积分
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