标题 |
Investigation of EUV pellicle deflection and mechanical stress within EUV inner pod under vacuum activity
真空活动下极紫外薄膜偏转和极紫外内吊舱内机械应力的研究
相关领域
极紫外光刻
极端紫外线
偏转(物理)
光学
残余应力
材料科学
辐照度
放气
物理
复合材料
激光器
天文
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DOI | |
其它 |
期刊:Vacuum 作者:Ching‐Te Kuo; Kuo-Kai Hung; Y. C. Lee; Bill Chiu 出版日期:2023-10-01 |
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