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 Ru thin films prepared by RF magnetron sputtering with Ru targets of different microstructures 不同结构Ru靶的射频磁控溅射法制备Ru薄膜
相关领域
微观结构
材料科学
溅射沉积
电阻率和电导率
粒度
溅射
基质（水族馆）
薄膜
扫描电子显微镜
纳米技术
复合材料
分析化学（期刊）
化学工程
化学
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期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Yue Shen; Ming Wen; Yanting Xu; Sixie Li 出版日期：2023-06-12 |
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