Maintaining superior crystallinity and conductivity in boron-doped nc-Si ultra-thin films by hydrogen plasma treatment

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标题	Maintaining superior crystallinity and conductivity in boron-doped nc-Si ultra-thin films by hydrogen plasma treatment 氢等离子体处理硼掺杂nc-Si超薄膜保持优异的结晶度和导电性相关领域结晶度材料科学薄膜无定形固体电导率纳米晶材料分析化学（期刊）化学气相沉积兴奋剂纳米技术光电子学复合材料结晶学化学物理化学色谱法
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S00223...
DOI	10.1016/j.jpcs.2021.110199 doi
求助人	幽默白羊在 2024-07-06 10:10:48 发布自山西，悬赏 10 积分
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