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Self-assembly of octadecyltrichlorosilane monolayers on silicon-based substrates by chemical vapor deposition
化学气相沉积法在硅基衬底上自组装十八烷基三氯氢硅单层
相关领域
十八烷基三氯氢硅
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硅
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期刊:Thin Solid Films 作者:Jinsheng Dong; Anfeng Wang; K. Y. Simon Ng; Guangzhao Mao 出版日期:2006-12-01 |
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