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 Silicon MEMS inertial sensors evolution over a quarter century 硅MEMS惯性传感器四分之一世纪的演变
相关领域
微电子机械系统
四分之一（加拿大硬币）
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硅
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期刊：Journal of micromechanics and microengineering 作者：Giacomo Langfelder; Marco Bestetti; Marco Gadola 出版日期：2021-07-14 |
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