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Silicon MEMS inertial sensors evolution over a quarter century

微电子机械系统 四分之一（加拿大硬币） 惯性参考系 硅 硅谷 惯性测量装置 工程类 电气工程 光电子学 航空航天工程 机械工程 材料科学 物理 地理 业务 考古 财务 量子力学 创业
作者
Giacomo Langfelder,Marco Bestetti,Marco Gadola
出处
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
日期：2021-07-14 卷期号：31 (8): 084002-084002 被引量：47
标识
DOI：10.1088/1361-6439/ac0fbf
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