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Mathematical Simulation of Plasma Processes in a Radio Frequency Inductively Coupled Plasma Torch in ANSYS Fluent and COMSOL Multiphysics Software Packages
基于ANSYS Fluent和COMSOL Multiphysics软件包的射频电感耦合等离子体炬等离子体过程的数学模拟
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期刊:IEEE transactions on plasma science 作者:D. Ivanov; S.G. Zverev 出版日期:2022-06-01 |
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