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 Microstructural parameters estimation for sputtered Al coating via SEM, EDS, X-ray diffraction line broadening and EBSD 用SEM、EDS、X射线衍射谱线展宽和EBSD估算溅射Al涂层的显微结构参数
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期刊：Vacuum 作者：Changxi Yang; Weiwei Xiao; Jinghao Huang; Shihong Liu; Shuliang Zou 出版日期：2022-12-01 |
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