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Performance evaluation of a walking-type piezoelectric actuator with compliant mechanism for wide-range speed driving and high-precision positioning
具有柔性机构的步进式压电执行器的大范围速度驱动和高精度定位性能评价
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期刊:Precision Engineering 作者:Hao Yun; Manabu Aoyagi 出版日期:2024-01-01 |
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