Properties of Al2O3 thin films prepared by ion-assisted evaporation

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标题	Properties of Al2O3 thin films prepared by ion-assisted evaporation 离子辅助蒸发法制备Al2O3薄膜的性能相关领域蒸发薄膜材料科学化学工程离子矿物学分析化学（期刊）纳米技术化学环境化学热力学物理有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/0040-6090(91)90007-k
DOI	10.1016/0040-6090(91)90007-k doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：W. Kübler 出版日期：1991-04-01
求助人	雷老板在 2023-12-23 11:05:12 发布自上海，悬赏 10 积分
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