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标题
Properties of Al2O3 thin films prepared by ion-assisted evaporation
离子辅助蒸发法制备Al2O3薄膜的性能
相关领域
蒸发 薄膜 材料科学 化学工程 离子 矿物学 分析化学(期刊) 纳米技术 化学 环境化学 热力学 物理 有机化学 工程类
网址
DOI
10.1016/0040-6090(91)90007-k doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:W. Kübler
出版日期:1991-04-01
求助人
雷老板 在 2023-12-23 11:05:12 发布自上海,悬赏 10 积分
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