Variation of poly-Si grain structures under thermal annealing and its effect on the performance of TiN/Al2O3/Si3N4/SiO2/poly-Si capacitors - 科研通

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标题	Variation of poly-Si grain structures under thermal annealing and its effect on the performance of TiN/Al2O3/Si3N4/SiO2/poly-Si capacitors 热退火条件下多晶硅晶粒结构的变化及其对TiN/Al2O3/Si3N4/SiO2/poly-Si电容器性能的影响相关领域材料科学退火（玻璃）电容器钝化锡晶界粒度光电子学薄膜晶体管硅再结晶（地质）电子工程复合材料冶金微观结构电气工程电压工程类图层（电子）古生物学生物
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.11.226
DOI	10.1016/j.apsusc.2017.11.226 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Suk Bum Hong; Ju Hyun Park; Tae Ho Lee; Jun Hee Lim; Changhwan Shin; et al 出版日期：2017-11-27
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