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 Ultra-High-Q Racetrack Resonators on Thick SOI Platform through Hydrogen Annealing Smoothing 氢退火平滑厚SOI平台超高Q轨道谐振器
相关领域
谐振器
绝缘体上的硅
平滑的
正交（天文学）
退火（玻璃）
波导管
物理
材料科学
计算机科学
光电子学
硅
光学
计算机视觉
热力学
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期刊：Journal of Lightwave Technology 作者：Yisbel E. Marin; Arijit Bera; Matteo Cherchi; Timo Aalto 出版日期：2023-01-01 |
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