Recent Advances in Metal-Oxide-Based Photoresists for EUV Lithography - 科研通

发布文献求助

待确认

文献求助详情

标题	Recent Advances in Metal-Oxide-Based Photoresists for EUV Lithography 极紫外光刻用金属氧化物基光刻胶的研究进展相关领域极紫外光刻平版印刷术材料科学抵抗纳米技术氧化物多重图案金属 X射线光刻下一代光刻光电子学电子束光刻冶金图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.3390/mi15091122 AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI	10.3390/mi15091122 doi
求助人	火火在 2025-02-24 17:10:08 发布自福建，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
3小时前

古的古的 Lv11 上传了文件

待审核 micromachines-15-01122-v2.pdf (9.72 MB)
3小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:10:09 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:10:08 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

17:10:08 已向机器人发送请求
3小时前

火火求助人 Lv11 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: SYLH上传了应助文件

1秒前; cx发布了新的文献求助10

1秒前; 脑洞疼的应助被高木同学采纳，获得10

1秒前; 十七的应助被wdwyyds采纳，获得10

2秒前; yyyfff发布了新的文献求助10

2秒前; SciGPT的应助被震动的千萍采纳，获得10

3秒前; SYLH的应助被syy666采纳，获得20

3秒前; 隐形曼青上传了应助文件

5秒前; 请叫我风吹麦浪上传了应助文件

6秒前; 浮生完成签到，获得积分10

8秒前; 搞怪千琴发布了新的文献求助10

9秒前; 天天快乐上传了应助文件

9秒前; Wind完成签到，获得积分10

9秒前; 科目三上传了应助文件

10秒前; 研友_VZG7GZ的应助被标致的乐双采纳，获得30

11秒前; 共享精神的应助被幽默沛山采纳，获得10

11秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

12秒前; 所所上传了应助文件

12秒前; jia0发布了新的文献求助10

13秒前; 辣条关注了科研通微信公众号

13秒前; 小小发布了新的文献求助10

14秒前; 潘先森发布了新的文献求助10

14秒前; 。.。发布了新的文献求助10

15秒前; 米津浅兮发布了新的文献求助10

15秒前; 123发布了新的文献求助10

15秒前; 搜集达人上传了应助文件

16秒前; orixero上传了应助文件

16秒前; 请叫我风吹麦浪上传了应助文件

16秒前; zhao发布了新的文献求助10

16秒前; 谨慎的雁桃完成签到，获得积分10

16秒前; 飞得更高发布了新的文献求助200

17秒前; 陈同学发布了新的文献求助20

18秒前; 神勇金毛发布了新的文献求助10

18秒前; xxxabcy发布了新的文献求助10

21秒前; 花火发布了新的文献求助10

21秒前; weiwei完成签到，获得积分10

22秒前; 脑洞疼上传了应助文件

23秒前; 可爱的函函上传了应助文件

23秒前; 科目三上传了应助文件

23秒前; SYLH上传了应助文件

24秒前

高分求助中: Genetics: From Genes to Genomes 3000; Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2500; Continuum thermodynamics and material modelling 2000; Healthcare Finance: Modern Financial Analysis for Accelerating Biomedical Innovation 2000; Applications of Emerging Nanomaterials and Nanotechnology 1111; Les Mantodea de Guyane Insecta, Polyneoptera 1000; Diabetes: miniguías Asklepios 800

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3470559; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3063526; 关于积分的说明 9084066; 捐赠科研通 2754015; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1511182; 邀请新用户注册赠送积分活动 698310; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 698182

今日热心研友

请叫我风吹麦浪

坚强的广山

眯眯眼的衬衫

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通