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 Irreversible Bonding of Polydimethylsiloxane-Lithium Niobate using Oxygen Plasma Modification for Surface Acoustic Wave based Microfluidic Application: Theory and Experiment 氧等离子体改性聚二甲基硅氧烷-铌酸锂的不可逆键合用于基于表面声波的微流体应用：理论与实验
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铌酸锂
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石英晶体微天平
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光电子学
复合材料
硅
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化学
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工程类
物理
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