Nanoimprint lithography performance and applications

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标题	Nanoimprint lithography performance and applications 纳米压印光刻性能及应用相关领域纳米压印光刻平版印刷术下一代光刻计算机科学 X射线光刻抵抗材料科学纳米技术电子束光刻光电子学制作医学病理替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3034540
DOI	10.1117/12.3034540 doi
其它	期刊：作者：Yoshikazu Yamakawa; Toshihiro Ifuku; Masami Yonekawa; Kazuhiro Sato; Tomohiro Saito; et al 出版日期：2024-11-12
求助人	H7 在 2024-12-02 16:58:30 发布自广东，悬赏 20 积分
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