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Role of low temperature Al(Ga)N interlayers on the polarity and quality control of GaN epitaxy
低温Al(Ga)N夹层对GaN外延极性和质量控制的作用
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Zhaole Su; Yangfeng Li; Haibo Yin; Hai Yu; Xiaotao Hu; et al 出版日期:2022-09-14 |
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