Gallium nitride thin films deposited by radio-frequency magnetron sputtering

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标题	Gallium nitride thin films deposited by radio-frequency magnetron sputtering 射频磁控溅射沉积氮化镓薄膜相关领域溅射结晶度材料科学无定形固体镓氩溅射沉积氮化物 Crystal（编程语言）氮化镓薄膜氮气分析化学（期刊）光电子学图层（电子）纳米技术复合材料化学结晶学冶金有机化学程序设计语言色谱法计算机科学
网址	https://doi.org/10.1116/1.2208988
DOI	10.1116/1.2208988 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Toshiro Maruyama; Hidetomo Miyake 出版日期：2006-06-15
求助人	求知欲在 2024-11-25 15:15:11 发布自江苏，悬赏 10 积分
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