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标题
MANIPULATING THE STRUCTURAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF ZINC OXIDE THIN FILMS BY CHANGING THE SPUTTERING POWER OF RADIO FREQUENCY MAGNETRON SPUTTERING
通过改变射频磁控溅射功率来操纵氧化锌薄膜的结构和电学性能
相关领域
溅射 电阻率和电导率 材料科学 溅射沉积 薄膜 分析化学(期刊) 冶金 化学 纳米技术 电气工程 工程类 色谱法
网址
DOI
10.1142/s0218625x18500063 doi
其它 期刊:Surface Review and Letters
作者:Yang Wang; Chengbiao Wang; Zhijian Peng; Qi Wang; Xiuli Fu
出版日期:2017-03-10
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