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  Suspended-ultrathin Si membrane on SOI: a novel structure to reduce thermal stress of GaN epilayer SOI上悬浮超薄Si膜：一种降低GaN外延层热应力的新结构
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期刊：IOP Conference Series Materials Science and Engineering 作者：Y. Song; Kejia Wang; Pengwei Du; Zhiyuan Cheng 出版日期：2020-03-01 |
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