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 Fast patterning and dry-etch of SiNxfor high resolution nanoimprint templates 用于高分辨率纳米压印模板的SiNx快速图案化和干法蚀刻
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期刊：Journal of Semiconductors 作者：Zhen Shu; Wan Jing; Bing-rui Lu; Xie Shenqi; Chen Yifang; et al 出版日期：2009-06-01 |
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