Tunable sensitivity of zirconium oxynitride thin-film temperature sensor modulated by film thickness

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标题	Tunable sensitivity of zirconium oxynitride thin-film temperature sensor modulated by film thickness 膜厚调制的氮化锆薄膜温度传感器灵敏度可调相关领域材料科学微观结构薄膜溅射沉积温度系数溅射拉曼光谱光电子学薄板电阻大气温度范围电阻和电导复合材料分析化学（期刊）光学纳米技术化学物理图层（电子）色谱法气象学
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-022-08900-8
DOI	10.1007/s10854-022-08900-8 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者：Yanjie Li; Minmin You; Xiuyan Li; Bin Yang; Zude Lin; et al 出版日期：2022-08-27
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